OPH-F系列真蜂窩氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)是我司隔振平臺(tái)系列中隔振的科研級(jí)氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)，主要應(yīng)用于高分辨顯微成像、精密光學(xué)測(cè)量、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等對(duì)振動(dòng)有非常高要求的儀器設(shè)備等。整套隔振系統(tǒng)分為臺(tái)面、氣浮支架、氣泵三部分。臺(tái)面采用桁架式蜂窩芯設(shè)計(jì)，每個(gè)蜂窩單元都使用三重芯板接觸面，確保了較高的剛度和較大的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積，極大提高了整體平臺(tái)的粘接強(qiáng)度和性能；每個(gè)螺紋孔下面都有一個(gè)隔離杯，便于用戶取回小零件或小樣品，同時(shí)也起到防水防塵等作用。上臺(tái)面材料選用SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼，具有很好的耐腐蝕性能。氣浮式支架采用隔振效果良好的膜式空氣彈簧，支撐腿內(nèi)部采用二級(jí)氣室隔離，高阻尼小孔，隔振性能良好，穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。自動(dòng)平衡，自動(dòng)充氣全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用進(jìn)口產(chǎn)品。

技術(shù)參數(shù)：

· 水平方式：自動(dòng)充氣，自動(dòng)平衡

· 固有頻率：1～1.8Hz

· 隔振效率：水平隔振88%-95%@5Hz，90%-95%@10Hz；

垂直隔振85%-90%@5Hz，90%-95%@10Hz

· 重復(fù)定位精度：±0.10mm

· 臺(tái)面材料：SUS430（1Cr17）高導(dǎo)磁不銹鋼，不易生銹

· 臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：桁架式蜂窩芯結(jié)構(gòu)，蜂窩芯密度：≥250kg/m³

· 臺(tái)面厚度：100/200/250mm

· 平面度：0.05~0.1mm/m²

· 臺(tái)面粗糙度：0.8~1.5μm

· 氣浮支架：雙層氣室，3個(gè)進(jìn)口真空管水平調(diào)節(jié)閥，高穩(wěn)定四或六支撐腿；

每個(gè)氣浮腿上面都配有氣囊裝置限位保護(hù)器，延長(zhǎng)氣囊使用壽命

· 無(wú)油氣泵：噪音＜46db，0.2-0.4MPa

· 總高度~800mm，總高度可調(diào)范圍：~±20mm

· 孔間距：25mm（機(jī)械打孔）

· 孔徑：M6螺紋孔

細(xì)節(jié)圖：

進(jìn)口水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 臺(tái)面真蜂窩結(jié)構(gòu) 氣囊限位/保護(hù)裝置 滑動(dòng)腳輪

側(cè)面圖：

選型表：

部分客戶案例：

松山湖材料實(shí)驗(yàn)室（規(guī)格：4500*1500*800mm）

上海微系統(tǒng)所（規(guī)格：2000*1200*800mm）